SiC晶体生长炉三维温度场数值模拟研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 杨春振; 陈成敏; 刘光霞; 王立秋; 许敏 |
| 出版日期 | 2015 |
| 会议名称 | 2015年中国工程热物理学会传热传质学学术年会 |
| 会议日期 | 2015 |
| 会议地点 | 大连 |
| 关键词 | 碳化硅晶体 温度场 数值模拟 三维 |
| 通讯作者 | yangcz@sderi.cn |
| 学科主题 | 数值计算 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/107602]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 作者单位 | 山东省科学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨春振,陈成敏,刘光霞,等. SiC晶体生长炉三维温度场数值模拟研究[C]. 见:2015年中国工程热物理学会传热传质学学术年会. 大连. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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