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磁性半导体Gd_xSi_(1-x)的XPS研究

文献类型:期刊论文

作者杨少延
刊名真空科学与技术学报
出版日期2004
卷号24期号:2页码:154-156
中文摘要采用离子束技术,在n型硅基片上注入稀土元素钆,制备了磁性/非磁性p-n结.本文中使用的XPS对制备的样品进行测试,利用Origin 7.0提供的PFM工具进行研究,O1s束缚能介于金属氧化物和SiO_2中O1s的束缚能之间,Si2p的XPS谱分裂为两个峰,其中一个是单质Si的,另一个介于单质Si和硅化物之间,Gd4d的束缚能介于金属钆和氧化钆中的Gd4d之间,说明Gd_xSi_(1-x)形成了无定形结构.
学科主题半导体材料
资助信息国家973资助项目,国家自然科学基金委员会资助项目
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17231]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨少延. 磁性半导体Gd_xSi_(1-x)的XPS研究[J]. 真空科学与技术学报,2004,24(2):154-156.
APA 杨少延.(2004).磁性半导体Gd_xSi_(1-x)的XPS研究.真空科学与技术学报,24(2),154-156.
MLA 杨少延."磁性半导体Gd_xSi_(1-x)的XPS研究".真空科学与技术学报 24.2(2004):154-156.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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