GaN生长均匀性结合化学反应动力学研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 郑江; 蒋志敏; 方海生 |
| 出版日期 | 2015 |
| 会议名称 | 2015年中国工程热物理学会燃烧学学术年会 |
| 会议日期 | 2015 |
| 关键词 | 金属有机物气相沉积 GaN生长均匀性 化学反应动力学 反应器结构 工艺参数 |
| 通讯作者 | hafang@hust.edu.cn |
| 学科主题 | 化学反应动力学 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/108281]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑江,蒋志敏,方海生. GaN生长均匀性结合化学反应动力学研究[C]. 见:2015年中国工程热物理学会燃烧学学术年会. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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