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微小孔径激光器的研制与近场测试

文献类型:期刊论文

作者陈良惠
刊名光学技术
出版日期2003
卷号29期号:6页码:682-684
中文摘要介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL).为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题,在激光器中引入了窗口隔离区,不仅降低了器件制备的难度,而且也提高了器件的性能和成品率.采用聚焦离子束刻蚀技术成功地制备了输出功率为0.3mW的激光器,利用矩阵方法通过远场测量值估算了激光器的近场分布.
英文摘要介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL).为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题,在激光器中引入了窗口隔离区,不仅降低了器件制备的难度,而且也提高了器件的性能和成品率.采用聚焦离子束刻蚀技术成功地制备了输出功率为0.3mW的激光器,利用矩阵方法通过远场测量值估算了激光器的近场分布.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:06:39导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:39Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4784.pdf: 225498 bytes, checksum: 067c181d63a966332dd53ae82b1313ae (MD5) Previous issue date: 2003; 国家863计划资助项目; 中国科学院半导体研究所
学科主题光电子学
收录类别CSCD
资助信息国家863计划资助项目
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17535]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈良惠. 微小孔径激光器的研制与近场测试[J]. 光学技术,2003,29(6):682-684.
APA 陈良惠.(2003).微小孔径激光器的研制与近场测试.光学技术,29(6),682-684.
MLA 陈良惠."微小孔径激光器的研制与近场测试".光学技术 29.6(2003):682-684.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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