基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘宇 ; 杨晓红
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 25期号:2页码:170-173 |
| 中文摘要 | 报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器．采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引人RCE光电探测器．制备的器件在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率，以及8GHz的3dB响应带宽，其中器件的台面面积为50μm * 50μm． |
| 英文摘要 | 报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器．采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引人RCE光电探测器．制备的器件在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率，以及8GHz的3dB响应带宽，其中器件的台面面积为50μm * 50μm．; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:06:51导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:51Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4841.pdf: 212774 bytes, checksum: 264afc3d185760b5d02e384924d876f7 (MD5) Previous issue date: 2004; 国家高技术研究发展计划(编号：2 2AA31229Z),国家自然科学基金(批准号：9 2 1 35)资助项目; 北京邮电大学光通信中心;中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家高技术研究发展计划(编号：2 2AA31229Z),国家自然科学基金(批准号：9 2 1 35)资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17615]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘宇,杨晓红. 基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器[J]. 半导体学报,2004,25(2):170-173. |
| APA | 刘宇,&杨晓红.(2004).基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器.半导体学报,25(2),170-173. |
| MLA | 刘宇,et al."基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器".半导体学报 25.2(2004):170-173. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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