降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
文献类型：期刊论文
| 作者 | 闻瑞梅 ; 梁骏吾 |
| 刊名 | 电子学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 31期号:11页码:1601-1604 |
| 中文摘要 | 本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳（TOC）的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系，从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致，主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l，是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平。 |
| 英文摘要 | 本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳（TOC）的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系，从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致，主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l，是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:07:37导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:07:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4983.pdf: 220301 bytes, checksum: 6554d6c632ab64603a18c1941ec2ae81 (MD5) Previous issue date: 2003; 同济大学;中科院半导体所 |
| 学科主题 | 半导体化学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17873]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻瑞梅,梁骏吾. 降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型[J]. 电子学报,2003,31(11):1601-1604. |
| APA | 闻瑞梅,&梁骏吾.(2003).降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型.电子学报,31(11),1601-1604. |
| MLA | 闻瑞梅,et al."降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型".电子学报 31.11(2003):1601-1604. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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