镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 左玉华 ; 成步文
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| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 32期号:6页码:661-664 |
| 中文摘要 | 用传输矩阵方法，在简化的光学模型基础上，分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR（Distributed Bragg Reflector）的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）可调谐光滤波器透射谱的影响。计算表明 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家重点基础研究发展规划（973项目）G2 366 3,自然科学基金重大课题（No. 961 4 3）,863项目2 2AA312 1 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17953]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 左玉华,成步文. 镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响[J]. 光子学报,2003,32(6):661-664. |
| APA | 左玉华,&成步文.(2003).镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响.光子学报,32(6),661-664. |
| MLA | 左玉华,et al."镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响".光子学报 32.6(2003):661-664. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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