Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators
文献类型：期刊论文
| 作者 | Quan Yuan ; Wei Luo ; Hui Zhao ; Bohua Peng ; Jinling Yang ; Fuhua Yang |
| 刊名 | ieee transactions on electron devices
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 62期号:5页码:1603-1608 |
| 学科主题 | 微电子学 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2016-04-08 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26982]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Quan Yuan,Wei Luo,Hui Zhao,et al. Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators[J]. ieee transactions on electron devices,2015,62(5):1603-1608. |
| APA | Quan Yuan,Wei Luo,Hui Zhao,Bohua Peng,Jinling Yang,&Fuhua Yang.(2015).Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators.ieee transactions on electron devices,62(5),1603-1608. |
| MLA | Quan Yuan,et al."Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators".ieee transactions on electron devices 62.5(2015):1603-1608. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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