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BPM方法在SOI结构中的应用

文献类型:期刊论文

作者张小峰 ; 余金中 ; 王启明 ; 魏红振
刊名半导体学报
出版日期2002
卷号23期号:2页码:169-173
中文摘要采用交错隐式算子分裂(ADI)算法,设计、实现了一种高速、高精度的波束传播方法(BPM)来模拟SOI波导中不同偏振态的光传输,研究了PML边界层的选取对虚传播计算基模和基模传播常数的影响,给出了大光腔SOI波导结构不同偏振的基模传播常数。
学科主题光电子学
收录类别CSCD
资助信息国家自然科学基金(批准号6999 54 及6989626 - 6),科技部973资助项目(合同号G2 366)
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18117]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张小峰,余金中,王启明,等. BPM方法在SOI结构中的应用[J]. 半导体学报,2002,23(2):169-173.
APA 张小峰,余金中,王启明,&魏红振.(2002).BPM方法在SOI结构中的应用.半导体学报,23(2),169-173.
MLA 张小峰,et al."BPM方法在SOI结构中的应用".半导体学报 23.2(2002):169-173.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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