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半绝缘 GaAs的表面光伏谱研究

文献类型:期刊论文

作者江德生
刊名红外与毫米波学报
出版日期2000
卷号19期号:1页码:15
中文摘要利用表面光伏法(SPV)研究了半绝缘GaAs(SI-GaAs)的缺陷态。通过加直流光偏置测量了室温下带边以下的光伏响应,发现带隙内缺陷态的光伏响应主要是由于表面而形成载流子浓度梯度引起的,通过实验表明SPV是一种对SI-GaAs晶片表面质量进行检测的非常灵敏的无损检测方法。
英文摘要利用表面光伏法(SPV)研究了半绝缘GaAs(SI-GaAs)的缺陷态。通过加直流光偏置测量了室温下带边以下的光伏响应,发现带隙内缺陷态的光伏响应主要是由于表面而形成载流子浓度梯度引起的,通过实验表明SPV是一种对SI-GaAs晶片表面质量进行检测的非常灵敏的无损检测方法。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:09:26导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5230.pdf: 209702 bytes, checksum: 8f09d1ab5ac1f643d18faf99f17abe13 (MD5) Previous issue date: 2000; 国家自然科学基金; 中科院半导体所;北京师范大学物理系
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
资助信息国家自然科学基金
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18365]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
江德生. 半绝缘 GaAs的表面光伏谱研究[J]. 红外与毫米波学报,2000,19(1):15.
APA 江德生.(2000).半绝缘 GaAs的表面光伏谱研究.红外与毫米波学报,19(1),15.
MLA 江德生."半绝缘 GaAs的表面光伏谱研究".红外与毫米波学报 19.1(2000):15.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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