CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较
文献类型:期刊论文
作者 | 谢敬辉 ; 梁万国 ; 赵达尊 |
刊名 | 光学技术
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出版日期 | 1999 |
卷号 | 85期号:0 |
英文摘要 | 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:09:33导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5249.pdf: 210972 bytes, checksum: 13b020eb923c106ed8917518269bd5f9 (MD5) Previous issue date:; 北京理工大学光电工程系;中科院半导体所 |
学科主题 | 微电子学 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18403] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢敬辉,梁万国,赵达尊. CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较[J]. 光学技术,1999,85(0). |
APA | 谢敬辉,梁万国,&赵达尊.(1999).CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较.光学技术,85(0). |
MLA | 谢敬辉,et al."CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较".光学技术 85.0(1999). |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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