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CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较

文献类型:期刊论文

作者谢敬辉 ; 梁万国 ; 赵达尊
刊名光学技术
出版日期1999
卷号85期号:0
英文摘要于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:09:33导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5249.pdf: 210972 bytes, checksum: 13b020eb923c106ed8917518269bd5f9 (MD5) Previous issue date:; 北京理工大学光电工程系;中科院半导体所
学科主题微电子学
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18403]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
谢敬辉,梁万国,赵达尊. CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较[J]. 光学技术,1999,85(0).
APA 谢敬辉,梁万国,&赵达尊.(1999).CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较.光学技术,85(0).
MLA 谢敬辉,et al."CG光学扫描全息术和FZP光学扫描全息术分辨率比较".光学技术 85.0(1999).

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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