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一种新型的超导磁场单晶炉的研制

文献类型:期刊论文

作者吴金良 ; 钟兴儒 ; 陈诺夫 ; 田金法 ; 林兰英
刊名功能材料与器件学报
出版日期2000
卷号6期号:4页码:453
中文摘要磁场对于半导体晶体生长过程中的熔体流动模式有着明显的影响,因而可以改善晶体的组分和杂质的分布。在半导体单晶生长过程当中利用超导磁场来抑制熔体的对流,采用这种方式既可以生长出优质的单晶又可以研究熔体的对流与扩散对生长半导体单晶的质量影响。报道了新近自行设计、制造的一种新型超导磁场直拉单晶炉。
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
资助信息科技部资助
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18419]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
吴金良,钟兴儒,陈诺夫,等. 一种新型的超导磁场单晶炉的研制[J]. 功能材料与器件学报,2000,6(4):453.
APA 吴金良,钟兴儒,陈诺夫,田金法,&林兰英.(2000).一种新型的超导磁场单晶炉的研制.功能材料与器件学报,6(4),453.
MLA 吴金良,et al."一种新型的超导磁场单晶炉的研制".功能材料与器件学报 6.4(2000):453.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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