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掺铒SiO_x1.54μm强的室温光致发光

文献类型:期刊论文

作者陈维德 ; 马智训 ; 许振嘉 ; 何杰 ; 顾诠 ; 梁建军
刊名发光学报
出版日期1999
卷号20期号:1页码:55
中文摘要采用等离子化学汽相淀积方法,改变SiH_4和N_2O的流量比制备含有不同氧浓度的SiO_x。用离子注入方法将铒掺入SiO_x,经300~935℃快速热退火,在波长1.54μ处观察到很强的室温光致发光(PL)。发光强度随氧含量和激发功率增加而增加,与SiO_x的微结构有非常密切的关系。对可能的发光机理进行了讨论。
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
资助信息国家自然科学基金
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18537]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈维德,马智训,许振嘉,等. 掺铒SiO_x1.54μm强的室温光致发光[J]. 发光学报,1999,20(1):55.
APA 陈维德,马智训,许振嘉,何杰,顾诠,&梁建军.(1999).掺铒SiO_x1.54μm强的室温光致发光.发光学报,20(1),55.
MLA 陈维德,et al."掺铒SiO_x1.54μm强的室温光致发光".发光学报 20.1(1999):55.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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