Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode
文献类型：期刊论文
| 作者 | Ming X(明希); Yin HX(殷华湘); Meng LK(孟令款); Li JJ(李俊杰); Jia YC(贾云丛); Li ZJ(李贞杰) ; Yuan F(袁烽); Jiang XS(江晓山); 刘鹏(多); Chen DP(陈大鹏)
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| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 36期号:2页码:197-201 |
| 其他题名 | 单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究 |
| 公开日期 | 2016-05-03 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/229129]  |
| 专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Ming X,Yin HX,Meng LK,et al. Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode[J]. 半导体光电,2015,36(2):197-201. |
| APA | 明希.,殷华湘.,孟令款.,李俊杰.,贾云丛.,...&陈大鹏.(2015).Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode.半导体光电,36(2),197-201. |
| MLA | 明希,et al."Fabrication of 3D-Si Pixel Sensor with Single Type Column Electrode".半导体光电 36.2(2015):197-201. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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