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RCE光电探测器顶部 DBR的优化(英文)

文献类型:期刊论文

作者梁琨 ; 陈弘达 ; 邓晖 ; 杜云 ; 唐君 ; 吴荣汉
刊名半导体学报
出版日期2001
卷号22期号:4页码:409
中文摘要对研制的VCSEL结构外延片制成的谐振腔增强型(简称RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究,由于VCSEL与RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同,通过腐蚀VCSEL器件顶部DBR,改变顶镜反射率,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的RCE光电探测器,实现VCSEL与RCE探测器的单片集成。
英文摘要对研制的VCSEL结构外延片制成的谐振腔增强型(简称RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究,由于VCSEL与RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同,通过腐蚀VCSEL器件顶部DBR,改变顶镜反射率,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的RCE光电探测器,实现VCSEL与RCE探测器的单片集成。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:10:32导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5399.pdf: 215232 bytes, checksum: d9ae76ade3692a1f561999ae3599ec0b (MD5) Previous issue date: 2001; 国家863计划,国家自然科学基金; 中科院半导体所
学科主题光电子学
收录类别CSCD
资助信息国家863计划,国家自然科学基金
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18703]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
梁琨,陈弘达,邓晖,等. RCE光电探测器顶部 DBR的优化(英文)[J]. 半导体学报,2001,22(4):409.
APA 梁琨,陈弘达,邓晖,杜云,唐君,&吴荣汉.(2001).RCE光电探测器顶部 DBR的优化(英文).半导体学报,22(4),409.
MLA 梁琨,et al."RCE光电探测器顶部 DBR的优化(英文)".半导体学报 22.4(2001):409.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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