离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的 Ga NAs/ Ga As和Ga In NAs/ Ga As量子阱的影响（英文）
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张伟
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 22期号:1页码:31 |
| 中文摘要 | 研究了离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的GaNAs/GaAs和GaInNAs/GaAs量子阱的影响。研究表明离子损伤是影响GaNAs和GaInNAs量子阱质量的关键因素。去离子磁场能有效地去除了等离子体活化产生的氮离子。对于使用去离子磁场生长的GaNAs和GaInNAs量子阱样品，X射线衍射测量和PL谱测量都表明样品的质量被显著地提高。GaInAs量子阱的PL强度已经提高到可以和同样条件下生长的GaInAs量子阱相比较，研究也表明使用的磁场强度越强，样品的光学质量提高越明显。 |
| 英文摘要 | 研究了离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的GaNAs/GaAs和GaInNAs/GaAs量子阱的影响。研究表明离子损伤是影响GaNAs和GaInNAs量子阱质量的关键因素。去离子磁场能有效地去除了等离子体活化产生的氮离子。对于使用去离子磁场生长的GaNAs和GaInNAs量子阱样品，X射线衍射测量和PL谱测量都表明样品的质量被显著地提高。GaInAs量子阱的PL强度已经提高到可以和同样条件下生长的GaInAs量子阱相比较，研究也表明使用的磁场强度越强，样品的光学质量提高越明显。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:10:37导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5414.pdf: 284029 bytes, checksum: b1a51076eac503b4241a51eeaab619cc (MD5) Previous issue date: 2001; 国家攀登计划,国家自然科学基金; 中科院半导体所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家攀登计划,国家自然科学基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18733]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张伟. 离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的 Ga NAs/ Ga As和Ga In NAs/ Ga As量子阱的影响（英文）[J]. 半导体学报,2001,22(1):31. |
| APA | 张伟.(2001).离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的 Ga NAs/ Ga As和Ga In NAs/ Ga As量子阱的影响（英文）.半导体学报,22(1),31. |
| MLA | 张伟."离子损伤对等离子体辅助分子束外延生长的 Ga NAs/ Ga As和Ga In NAs/ Ga As量子阱的影响（英文）".半导体学报 22.1(2001):31. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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