用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 成步文
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2000 |
| 卷号 | 21期号:5页码:483 |
| 中文摘要 | Si基共振腔型光电探测器的关键工艺是隐埋Bragg反射器镜面的制备。用PECVD方法在Si衬底上制备了SiO_xN_y/Si Bragg反射器，研究了Bragg反射器的反射谱和退火行为。 |
| 英文摘要 | Si基共振腔型光电探测器的关键工艺是隐埋Bragg反射器镜面的制备。用PECVD方法在Si衬底上制备了SiO_xN_y/Si Bragg反射器，研究了Bragg反射器的反射谱和退火行为。; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:10:47导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:10:47Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5445.pdf: 332032 bytes, checksum: 5101580730be379b3c1239447fb56347 (MD5) Previous issue date: 2000; 国家自然科学基金,国家863计划,国家自然科学基金; 中科院半导体所;中科院半导体所国家光电子工艺中心 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金,国家863计划,国家自然科学基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18795]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 成步文. 用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器[J]. 半导体学报,2000,21(5):483. |
| APA | 成步文.(2000).用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器.半导体学报,21(5),483. |
| MLA | 成步文."用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器".半导体学报 21.5(2000):483. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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