SiOx:H（O文献类型：期刊论文
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马智训 ; 廖显伯 ; 何杰 ; 程文超 ; 岳国珍 ; 王永谦 ; 刁宏伟 ; 孔光临 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 1998 |
| 卷号 | 47期号:6页码:1033 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19095]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 |
马智训,廖显伯,何杰,等. SiOx:H（O |
| APA |
马智训.,廖显伯.,何杰.,程文超.,岳国珍.,...&孔光临.(1998).SiOx:H（O |
| MLA |
马智训,et al."SiOx:H（O |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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