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氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响

文献类型:期刊论文

作者牛智川
刊名半导体学报
出版日期1998
卷号19期号:5页码:327
中文摘要该文研究了MBE通常生长条件和氢原子辅助生长条件下(100)、(331)、(210)、(311)等表面外延形貌的变化。
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19231]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
牛智川. 氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响[J]. 半导体学报,1998,19(5):327.
APA 牛智川.(1998).氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响.半导体学报,19(5),327.
MLA 牛智川."氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响".半导体学报 19.5(1998):327.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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