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离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究

文献类型:期刊论文

作者雷红兵 ; 杨沁清 ; 王启明 ; 周必忠 ; 肖方方 ; 吴名枋
刊名半导体学报
出版日期1998
卷号19期号:5页码:332
中文摘要详细地分析了离子注入掺铒硅的光致发光谱,有5个发光峰分别位于1.536μm、1.554μ、1.570μm、1.598μ和1.640μm,其中1.536μm发光峰最强。结合背散射谱,认为其有效的发光中心为处于T_d对称中心的填隙铒Er~(3+)离子。在Er与O、N、C共掺样品应分别存在Er-O、Er-N和Er-C发光中心,其对应的PL发光峰分别为1.570μm、1.536μm和1.608μm。
学科主题光电子学
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19245]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
雷红兵,杨沁清,王启明,等. 离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究[J]. 半导体学报,1998,19(5):332.
APA 雷红兵,杨沁清,王启明,周必忠,肖方方,&吴名枋.(1998).离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究.半导体学报,19(5),332.
MLA 雷红兵,et al."离子注入掺铒硅发光中心的光致发光研究".半导体学报 19.5(1998):332.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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