248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王圩
|
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 卷号 | 24期号:7页码:623 |
| 英文摘要 | 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:12:29导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:12:29Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5742.pdf: 184235 bytes, checksum: fc328fa8a5f8e420a4d5af6d294871d4 (MD5) Previous issue date: 1997; 国家教委博士点基金,国家自然科学基金,国家863计划; 北方交通大学光波技术所;中科院半导体所 |
| 学科主题 | 半导体器件 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家教委博士点基金,国家自然科学基金,国家863计划 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19309]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王圩. 248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制[J]. 中国激光,1997,24(7):623. |
| APA | 王圩.(1997).248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制.中国激光,24(7),623. |
| MLA | 王圩."248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制".中国激光 24.7(1997):623. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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