多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷
文献类型：期刊论文
| 作者 | 闻瑞梅 ; 周淑君 ; 袁越 ; 赵振环 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1997 |
| 卷号 | 18期号:2页码:156 |
| 中文摘要 | 二氯硅烷的沸点只有8.3℃,常温下呈气体状态,用常规的方法取样和检测难度很大.用高温富氢还原的方法,使二氯硅烷中的磷还原为PH_3,用气相色谱法测定.并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置,有效的防止了氢爆.保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时.同时利用NaOH富集,解决了主体干优杂质的问题.方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0.1μg/1提高到0.04μg/1. |
| 学科主题 | 半导体化学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19421]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻瑞梅,周淑君,袁越,等. 多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷[J]. 半导体学报,1997,18(2):156. |
| APA | 闻瑞梅,周淑君,袁越,&赵振环.(1997).多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷.半导体学报,18(2),156. |
| MLA | 闻瑞梅,et al."多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷".半导体学报 18.2(1997):156. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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