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气态源分子束外延InP和InAs基Ⅲ-V族化合物材料

文献类型:期刊论文

作者袁瑞霞 ; 阎春辉 ; 国红熙 ; 李晓兵 ; 朱世荣 ; 曾一平 ; 李灵霄 ; 孔梅影
刊名半导体学报
出版日期1996
卷号17期号:1页码:6
中文摘要简要报告气态源分子束外延实验结果。材料是GaAs(100)衬底上外延的晶格匹配的In_y(Ga_(1-x)Al_x)_(1-y)P(x=0~1,y=0.5),InGaP/InAlP多量子阱;在InP(100)衬底上外延的InP,晶格匹配的InGaAs、InAlAs以及InP/InGaAs、InP/InAsP多量子阱,InGaAs/InAlAs HEMT等,外延实验是用国产第一台化学束外延(CBE)系统做的。
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
资助信息国家863计划
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19591]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
袁瑞霞,阎春辉,国红熙,等. 气态源分子束外延InP和InAs基Ⅲ-V族化合物材料[J]. 半导体学报,1996,17(1):6.
APA 袁瑞霞.,阎春辉.,国红熙.,李晓兵.,朱世荣.,...&孔梅影.(1996).气态源分子束外延InP和InAs基Ⅲ-V族化合物材料.半导体学报,17(1),6.
MLA 袁瑞霞,et al."气态源分子束外延InP和InAs基Ⅲ-V族化合物材料".半导体学报 17.1(1996):6.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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