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氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关

文献类型:期刊论文

作者庄婉如 ; 杨培生 ; 孙富荣 ; 石志文 ; 段继宁 ; 邹正中 ; 高俊华
刊名光子学报
出版日期1996
卷号25期号:2页码:119
中文摘要研制了一种全内反射型InGaAsP/InP光波导开关。采用氧离子注入形成的高阻特性来作为载流子注入区的隔离。由此获得陡峭的反射面,改善了光开关的性能。在入射光波长为1.3 μm,注入电流为32 mA下得到光开关反射端消光比为18 dB,无注入时的关态串话为-19 dB。
学科主题光电子学
收录类别CSCD
资助信息国家863计划
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19599]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
庄婉如,杨培生,孙富荣,等. 氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关[J]. 光子学报,1996,25(2):119.
APA 庄婉如.,杨培生.,孙富荣.,石志文.,段继宁.,...&高俊华.(1996).氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关.光子学报,25(2),119.
MLA 庄婉如,et al."氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关".光子学报 25.2(1996):119.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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