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As+注入Si1-xGex中应就驰豫的双晶X射线衍射研究

文献类型:期刊论文

作者邹吕凡 ; 王占国 ; 孙殿照 ; 何沙 ; 范缇文 ; 张靖巍
刊名半导体学报
出版日期1996
卷号17期号:12页码:946
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
资助信息国家自然科学基金
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19655]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
邹吕凡,王占国,孙殿照,等. As+注入Si1-xGex中应就驰豫的双晶X射线衍射研究[J]. 半导体学报,1996,17(12):946.
APA 邹吕凡,王占国,孙殿照,何沙,范缇文,&张靖巍.(1996).As+注入Si1-xGex中应就驰豫的双晶X射线衍射研究.半导体学报,17(12),946.
MLA 邹吕凡,et al."As+注入Si1-xGex中应就驰豫的双晶X射线衍射研究".半导体学报 17.12(1996):946.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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