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面投影微立体光刻系统的开发和研究

文献类型:期刊论文

作者吴东岷
刊名制造业自动化
出版日期2011-01-25
期号2
关键词面投影微立体光刻 复合材料 MTF测量 树脂固化曲线
中文摘要面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。
语种中文
公开日期2012-09-11
源URL[http://58.210.77.100/handle/332007/744]  
专题苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米研究国际实验室_吴东岷团队
推荐引用方式
GB/T 7714
吴东岷. 面投影微立体光刻系统的开发和研究[J]. 制造业自动化,2011(2).
APA 吴东岷.(2011).面投影微立体光刻系统的开发和研究.制造业自动化(2).
MLA 吴东岷."面投影微立体光刻系统的开发和研究".制造业自动化 .2(2011).

入库方式: OAI收割

来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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