无栅AlGaN/GaN HEMT生物传感器的制作及其性能测量
文献类型：学位论文
| 作者 | 薛伟 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 吴东岷 |
| 关键词 | AlGaN/GaN HEMT 生物传感器 表面修饰 封装 比接触电阻率 探测极限 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 公开日期 | 2012-09-11 |
| 源URL | [http://58.210.77.100/handle/332007/727]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米研究国际实验室_吴东岷团队 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛伟. 无栅AlGaN/GaN HEMT生物传感器的制作及其性能测量[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2012. |
入库方式： OAI收割
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