一种测定光电器件微区光反射谱的方法及装置
文献类型：专利
| 作者 | 张耀辉 ; 曾春红; 黄寓洋; 刘伟
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| 发表日期 | 2008-08-13 |
| 公开日期 | 2010-01-14 |
| 申请日期 | 2008 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810019834.1 |
| 源URL | [http://58.210.77.100/handle/332007/53]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_系统集成与IC设计部_张耀辉团队 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张耀辉,曾春红,黄寓洋,等. 一种测定光电器件微区光反射谱的方法及装置. 2008-08-13. |
入库方式： OAI收割
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