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热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法

文献类型:专利

作者朱煜; 褚君浩; 张耀辉; 宋贺伦; 王建禄; 孟祥建; 孙硕
发表日期2015-09-09
专利号CN103346250B
专利类型发明
权利人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日期2013-07-05
专利申请号201310281825.0
源URL[http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3216]  
专题苏州纳米技术与纳米仿生研究所_系统集成与IC设计部_张耀辉团队
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
朱煜,褚君浩,张耀辉,等. 热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法. CN103346250B. 2015-09-09.

入库方式: OAI收割

来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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