热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法
文献类型:专利
| 作者 | 朱煜; 褚君浩; 张耀辉 ; 宋贺伦 ; 王建禄; 孟祥建; 孙硕
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| 发表日期 | 2015-09-09 |
| 专利号 | CN103346250B |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 申请日期 | 2013-07-05 |
| 专利申请号 | 201310281825.0 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/3216] ![]() |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_系统集成与IC设计部_张耀辉团队 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱煜,褚君浩,张耀辉,等. 热释电薄膜红外焦平面探测器芯片及其制作方法. CN103346250B. 2015-09-09. |
入库方式: OAI收割
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