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Si(0.5)Ge(0.5)合金的热氧化物的研究

文献类型:期刊论文

作者邢益荣 ; 崔玉德 ; 殷士端 ; 张敬平 ; 李侠 ; 朱沛然 ; 徐田冰
刊名半导体学报
出版日期1995
卷号16期号:7页码:491
学科主题半导体化学
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/19837]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
邢益荣,崔玉德,殷士端,等. Si(0.5)Ge(0.5)合金的热氧化物的研究[J]. 半导体学报,1995,16(7):491.
APA 邢益荣.,崔玉德.,殷士端.,张敬平.,李侠.,...&徐田冰.(1995).Si(0.5)Ge(0.5)合金的热氧化物的研究.半导体学报,16(7),491.
MLA 邢益荣,et al."Si(0.5)Ge(0.5)合金的热氧化物的研究".半导体学报 16.7(1995):491.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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