轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宋贵宏 ; 肖金泉 ; 杜昊 ; 陈立佳 |
| 刊名 | 材料研究学报
 |
| 出版日期 | 2015-10-25 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 复合材料 TiN-Cu纳米复合膜 硬度 电弧离子镀 磁场强度 大颗粒 沉积速率 |
| 中文摘要 | 在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场,制备了TiN-Cu纳米复合膜。观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速率和弧柱形状的影响,及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响。结果表明,提高线圈磁场强度可提高电弧斑点的游动速率,进而降低靶表面金属液滴喷射几率,减小沉积薄膜中大颗粒的尺寸和数量。X射线衍射(XRD)谱显示,沉积薄膜只含有TiN相,未出现金属Cu或其化合物的衍射峰;薄膜呈现明显的(111)晶面择优取向。随着线圈磁场强度的提高薄膜沉积速率、压痕硬度和弹性模量先增加,达到最大值后又略有减少,其最大硬度和弹性模量分别达到35.46GPa和487.61GPa。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-04-19 |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74527]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋贵宏,肖金泉,杜昊,等. 轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响[J]. 材料研究学报,2015(10). |
| APA | 宋贵宏,肖金泉,杜昊,&陈立佳.(2015).轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响.材料研究学报(10). |
| MLA | 宋贵宏,et al."轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响".材料研究学报 .10(2015). |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。