低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 庞拂飞 ; 韩秀友 ; 蔡海文 ; 方祖捷 |
| 刊名 | 光子学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:4页码:509 |
| 关键词 | 溶胶-凝胶法 有机-无机混合波导 ICP |
| ISSN号 | 1004-4213 |
| 其他题名 | A low loss planar waveguide by using organic-inorganic sol-gel |
| 中文摘要 | 利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜．采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物，利用旋涂的方法成膜，对其折射率，传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究．测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系．实验表明，该方法工艺简单，可以获得具有较低损耗的波导薄膜．测试得到632．8nm波段的损耗系数为0．23dB／cm．采用ICP刻蚀工艺获得了较为平整的条形波导． |
| 分类号 | TN252 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1876]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庞拂飞,韩秀友,蔡海文,等. 低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究, A low loss planar waveguide by using organic-inorganic sol-gel[J]. 光子学报,2006,35(4):509, 512. |
| APA | 庞拂飞,韩秀友,蔡海文,&方祖捷.(2006).低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究.光子学报,35(4),509. |
| MLA | 庞拂飞,et al."低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究".光子学报 35.4(2006):509. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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