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多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光

文献类型:期刊论文

作者王燕 ; 廖显伯 ; 潘广勤 ; 孔光临
刊名半导体学报
出版日期1994
卷号15期号:8页码:569
英文摘要于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:14:49导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:14:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6109.pdf: 189060 bytes, checksum: 71c591e49dbced83ae080f5d8a5f6250 (MD5) Previous issue date: 1994; 中科院半导体所
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20015]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
王燕,廖显伯,潘广勤,等. 多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光[J]. 半导体学报,1994,15(8):569.
APA 王燕,廖显伯,潘广勤,&孔光临.(1994).多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光.半导体学报,15(8),569.
MLA 王燕,et al."多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光".半导体学报 15.8(1994):569.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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