多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光
文献类型:期刊论文
作者 | 王燕 ; 廖显伯 ; 潘广勤 ; 孔光临 |
刊名 | 半导体学报
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出版日期 | 1994 |
卷号 | 15期号:8页码:569 |
英文摘要 | 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:14:49导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:14:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6109.pdf: 189060 bytes, checksum: 71c591e49dbced83ae080f5d8a5f6250 (MD5) Previous issue date: 1994; 中科院半导体所 |
学科主题 | 半导体材料 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20015] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王燕,廖显伯,潘广勤,等. 多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光[J]. 半导体学报,1994,15(8):569. |
APA | 王燕,廖显伯,潘广勤,&孔光临.(1994).多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光.半导体学报,15(8),569. |
MLA | 王燕,et al."多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光".半导体学报 15.8(1994):569. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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