Co-Si多层膜的透射电镜研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 顾诠 ; 何杰 ; 钱家俊 ; 陈维德 ; 许振嘉 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1993 |
| 卷号 | 14期号:12页码:738 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20095]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 顾诠,何杰,钱家俊,等. Co-Si多层膜的透射电镜研究[J]. 半导体学报,1993,14(12):738. |
| APA | 顾诠,何杰,钱家俊,陈维德,&许振嘉.(1993).Co-Si多层膜的透射电镜研究.半导体学报,14(12),738. |
| MLA | 顾诠,et al."Co-Si多层膜的透射电镜研究".半导体学报 14.12(1993):738. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。