光刻机投影物镜的像差原位检测新技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张冬青 ; 王向朝 ; 施伟杰 ; 王帆 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:5页码:679 |
| 关键词 | 信息光学 像差 投影物镜 光刻机 原位检测 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 中文摘要 | 提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测（AMF）技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理，论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AMF技术可实现球差、彗差、像散等像差参量的精确测量。AMF技术考虑了光刻胶等工艺因素对像差引起的成像位置偏移量的影响，有效避免了目前基于硅片曝光方式的彗差原位检测技术对离焦量、像面倾斜等像质参量限制的依赖。 |
| 分类号 | R778 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1888]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张冬青,王向朝,施伟杰,等. 光刻机投影物镜的像差原位检测新技术[J]. 光学学报,2006,26(5):679, 684. |
| APA | 张冬青,王向朝,施伟杰,&王帆.(2006).光刻机投影物镜的像差原位检测新技术.光学学报,26(5),679. |
| MLA | 张冬青,et al."光刻机投影物镜的像差原位检测新技术".光学学报 26.5(2006):679. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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