基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王帆 ; 王向朝 ; 马明英 ; 张冬青 ; 施伟杰 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:5页码:673 |
| 关键词 | 光学测量 光刻 像差 投影物镜 成像质量 泽尼克系数 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | On-site coma measurement technique base on linewidth asymmetry of the aerial image |
| 中文摘要 | 在高数值孔径、低工艺因子的光刻技术中，投影物镜彗差对光刻质量的影响变得越来越突出，因而需要一种快速、高精度的彗差原位测量技术。为此提出了一种新的基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术，利用国际上公认的半导体行业光刻仿真软件PROLITH对该方法的测量精度进行了仿真分析。结果表明，与基于硅片曝光的彗差测量方法相比，基于空间像的彗差测量技术速度上的优势十分明显。其测量精度优于1．4nm，较国际前沿的多照明设置空间像测量技术（TAMIS）提高30％以上，测量速度提高1／3左右。在ASML公司的PAS5500型 |
| 分类号 | TN305.7 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1902]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王帆,王向朝,马明英,等. 基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术[J]. 光学学报,2006,26(5):673, 678. |
| APA | 王帆,王向朝,马明英,张冬青,&施伟杰.(2006).基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术.光学学报,26(5),673. |
| MLA | 王帆,et al."基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术".光学学报 26.5(2006):673. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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