碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 王晋峰 ; 王烨儒
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| 发表日期 | 2015-06-23 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | 暂无 |
| 专利类型 | 发明 |
| 中文摘要 | 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶.掩膜板形状的确定；⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸.对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工，蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光，因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。 |
| 学科主题 | 天文技术与方法 |
| 公开日期 | 2015-10-28 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240]  |
| 专题 | 专利 |
| 作者单位 | 南京天文光学技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无. 2015-06-23. |
入库方式： OAI收割
来源：南京天文光学技术研究所
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