Pd/a-Si∶H界面反应研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 沈波 ; 赵特秀 ; 刘洪图 ; 吴志强 ; 金澍 ; 许振嘉 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1990 |
| 卷号 | 11期号:8页码:578 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 中科院基金 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20455]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈波,赵特秀,刘洪图,等. Pd/a-Si∶H界面反应研究[J]. 半导体学报,1990,11(8):578. |
| APA | 沈波,赵特秀,刘洪图,吴志强,金澍,&许振嘉.(1990).Pd/a-Si∶H界面反应研究.半导体学报,11(8),578. |
| MLA | 沈波,et al."Pd/a-Si∶H界面反应研究".半导体学报 11.8(1990):578. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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