利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 段晓峰 ; 都安彦 ; 褚一鸣 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1990 |
| 卷号 | 11期号:9页码:688 |
| 英文摘要 | 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:16:35导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6353.pdf: 162071 bytes, checksum: 6debe05497547a85837742c82a64e327 (MD5) Previous issue date: 1990; 中科院北京电子显微镜实验室;中科院半导体所 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-23 ; 2011-04-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20479]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段晓峰,都安彦,褚一鸣. 利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究[J]. 半导体学报,1990,11(9):688. |
| APA | 段晓峰,都安彦,&褚一鸣.(1990).利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究.半导体学报,11(9),688. |
| MLA | 段晓峰,et al."利用能量过滤成像技术对注氮SOI的研究".半导体学报 11.9(1990):688. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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