利用有机-无机溶胶-凝胶方法制备平面波导环形谐振腔
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 庞拂飞 ; 韩秀友 ; 蔡海文 ; 瞿荣辉 ; 方祖捷 |
| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 33期号:5页码:591 |
| 关键词 | 集成光学 环形谐振腔 溶胶-凝胶 热光系数 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 其他题名 | An integrated optical waveguide ring resonator by using Sol-Gel technology |
| 中文摘要 | 采用简单的有机一无机混合的溶胶一凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料，并利用其制备了平面波导环形谐振腔器件。波导结构呈现倒脊形，其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术（ICP）在二氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽，然后再沉积波导薄膜。利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量，观测到具有10dB对比度，自由光谱范围0．182nm周期性谐振现象，结合环形谐振腔的传输特性，得到环形腔具有较低的传输损耗1．7dB／cm。同时对环形谐振腔的温度特性进行了测量，得出波导材料的热光系数为-1．54×10^-4 |
| 分类号 | TN252 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1924]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庞拂飞,韩秀友,蔡海文,等. 利用有机-无机溶胶-凝胶方法制备平面波导环形谐振腔, An integrated optical waveguide ring resonator by using Sol-Gel technology[J]. 中国激光,2006,33(5):591, 595. |
| APA | 庞拂飞,韩秀友,蔡海文,瞿荣辉,&方祖捷.(2006).利用有机-无机溶胶-凝胶方法制备平面波导环形谐振腔.中国激光,33(5),591. |
| MLA | 庞拂飞,et al."利用有机-无机溶胶-凝胶方法制备平面波导环形谐振腔".中国激光 33.5(2006):591. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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