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Au、Al/a-Si:H热退火行为研究

文献类型:期刊论文

作者金澍 ; 刘洪图 ; 赵特秀 ; 吴志强 ; 沈波 ; 许振嘉
刊名半导体学报
出版日期1989
卷号10期号:3页码:186
英文摘要于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:16:56导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:16:56Z (GMT). No. of bitstreams: 1 6404.pdf: 1543353 bytes, checksum: c3290b6b1d7e47ec880836f7fe169b21 (MD5) Previous issue date: 1989; 中国科学技术大学;中科院半导体所
学科主题半导体材料
收录类别CSCD
语种中文
公开日期2010-11-23 ; 2011-04-29
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20577]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
金澍,刘洪图,赵特秀,等. Au、Al/a-Si:H热退火行为研究[J]. 半导体学报,1989,10(3):186.
APA 金澍,刘洪图,赵特秀,吴志强,沈波,&许振嘉.(1989).Au、Al/a-Si:H热退火行为研究.半导体学报,10(3),186.
MLA 金澍,et al."Au、Al/a-Si:H热退火行为研究".半导体学报 10.3(1989):186.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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