照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭立萍 ; 王向朝 ; 黄惠杰 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 26期号:6页码:885 |
| 关键词 | 仪器 光刻 光刻仿真 离轴照明 光瞳非对称性 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Impact of illumination pupil filling unbalance on imaging performance of lithography |
| 中文摘要 | 研究了照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响。通过PROLITH软件计算了环形与四极照明条件下，光瞳非对称性对图形位置偏移量、曝光图形内水平线条与垂直线条的宽度差、曝光图形上密集线条与孤立线条之间线宽偏差的影响。研究结果表明，光瞳非对称性主要影响曝光图形的位置偏移量，光瞳非对称性引起的图形位置偏移量与光瞳非对称性的大小成线性关系。根据套刻精度的误差分配原则，计算得到光瞳非对称性的容限为5％。 |
| 分类号 | TN350.7 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/1954]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭立萍,王向朝,黄惠杰. 照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响[J]. 光学学报,2006,26(6):885, 890. |
| APA | 郭立萍,王向朝,&黄惠杰.(2006).照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响.光学学报,26(6),885. |
| MLA | 郭立萍,et al."照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响".光学学报 26.6(2006):885. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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