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一种真空紫外激光发生装置

文献类型:专利

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作者王利; 刘本康; 高丹丹; 王艳秋
发表日期2015-11-01
专利国别CN
专利号CN201310690979.5
专利类型发明
权利人中国科学院大连化学物理研究所
是否PCT专利
中文摘要本发明涉及一种真空紫外激光发生装置,包括入射窗口、非线性作用主体、偏转电极以及出射窗口。其中,入射窗口、非线性作用主体和出射窗口同轴的依次装配在一起,偏转电极安装在激光作用主体内部。具体而言,可见波段激光在非线性作用主体内部与气体介质相互作用,产生处于真空紫外波段的三倍频光。偏转电极的加入设计可以明显的提高真空紫外激光产生的稳定性。在降低气体介质使用成本的同时,也可以很大程度上提高真空紫外激光的使用寿命。
学科主题物理化学
公开日期2015-06-17
授权日期2015-11-01
申请日期2013-12-13
语种中文
专利申请号CN201310690979.5
源URL[http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/144768]  
专题大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
作者单位中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王利,刘本康,高丹丹,等. 一种真空紫外激光发生装置, 一种真空紫外激光发生装置, 一种真空紫外激光发生装置, 一种真空紫外激光发生装置. CN201310690979.5. 2015-11-01.

入库方式: OAI收割

来源:大连化学物理研究所

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