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一种用于减缓灯窗表面污染的装置

文献类型:专利

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作者李海洋; 李金旭; 赵无垛; 齐国臣; 刘巍
发表日期2015-11-01
专利国别CN
专利号CN201310694073.0
专利类型发明
权利人中国科学院大连化学物理研究所
中文摘要本发明公开了一种基于减缓灯窗表面污染的装置,包括灯窗、侧向偏转电极、推斥电极、聚焦电极,skimmer电极。其中,侧向偏转电极是由相对设置的电极A和电极B构成。在VUV灯照射下,进入电离区的样品分子被电离成正离子、负离子和电子。由于聚焦电极和推斥电极上施加有电压,在电场的作用正、负离子分别向skimmer电极和VUV灯窗运动。由于电极A和B上施加有不同的电压,进入偏转电极内部的离子会被偏转到两侧,无法轰击到灯窗表面,从而减缓灯窗表面的污染对灯窗起到了保护作用。
是否PCT专利
学科主题物理化学
公开日期2015-06-17
授权日期2015-11-01
申请日期2013-12-15
语种中文
专利申请号CN201310694073.0
源URL[http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/144824]  
专题大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
作者单位中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李海洋,李金旭,赵无垛,等. 一种用于减缓灯窗表面污染的装置, 一种用于减缓灯窗表面污染的装置, 一种用于减缓灯窗表面污染的装置, 一种用于减缓灯窗表面污染的装置. CN201310694073.0. 2015-11-01.

入库方式: OAI收割

来源:大连化学物理研究所

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