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一种真空室气压调节器

文献类型:专利

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作者李海洋; 齐国臣; 赵无垛; 侯可勇; 李金旭; 窦健; 蒋蕾; 王祯鑫
发表日期2015-11-01
专利国别CN
专利号CN201310696152.5
专利类型发明
权利人中国科学院大连化学物理研究所
是否PCT专利
中文摘要本发明公开了一种真空室气压调节器,具体的说是一种可以用于调控质谱仪真空室内气压的进样装置,该装置包括真空室、毛细管A、毛细管B、密封帽及密封垫、真空阀、分流腔体和真空泵;本发明的特点是通过调节真空阀,可以调控进入真空室的气体量,从而使真空室内气压可调,可以有效根据质谱仪工作需求调节质谱仪的进气量,同时可以有效减少更换毛细管过程中带来的拆卸质谱的麻烦。此外,可以通过调节真空阀使毛细管A的工作气压范围在0.1~3MPa。
学科主题物理化学
公开日期2015-06-17
授权日期2015-11-01
申请日期2013-12-15
语种中文
专利申请号CN201310696152.5
源URL[http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/144832]  
专题大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所
作者单位中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李海洋,齐国臣,赵无垛,等. 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器. CN201310696152.5. 2015-11-01.

入库方式: OAI收割

来源:大连化学物理研究所

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