一种基于PSD器件的改进型角度测量方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑德锋 ; 王向朝 ; 唐锋 |
| 刊名 | Chin. Opt. Lett.
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 5期号:7页码:403 |
| 关键词 | 角度测量 干涉仪 平行平板 PSD位置探测 Detectors Interferometers Mirrors |
| ISSN号 | 1671-7694 |
| 其他题名 | An improved method of angle measurement with a position sensitive detector |
| 中文摘要 | 提出一种基于平行平板干涉仪的改进型角度测量方法。为了实现较大的偏转角度测量，该平行平板干涉仪引入了一位置探测系统。平面反射镜的引入提高了角度测量的分辨率。实验验证了可在近3度的范围内实现被测偏转角度的高精度测量。并且作为一位相调制型干涉仪，其小角位移测量实验的重复精度可达5.5×10^(-8)rad。; An improved method of angle measurement is proposed based on a parallel plate interferometer. A position detection system is incorporated into a parallel plate interferometer in order to realize large deflection angle measurement. A reflecting mirror is introduced for increasing the measurement resolution. In experiments, a deflection angle of a measured target was measured within about 3 deg. with high accuracy. And as a phase modulating interferometer, it was used to measure a small angular displacement with a repeatability of 5.5 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2104]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑德锋,王向朝,唐锋. 一种基于PSD器件的改进型角度测量方法[J]. Chin. Opt. Lett.,2007,5(7):403, 406. |
| APA | 郑德锋,王向朝,&唐锋.(2007).一种基于PSD器件的改进型角度测量方法.Chin. Opt. Lett.,5(7),403. |
| MLA | 郑德锋,et al."一种基于PSD器件的改进型角度测量方法".Chin. Opt. Lett. 5.7(2007):403. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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