中国科学院机构知识库网格系统: Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件

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Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件

文献类型：学位论文


作者	王克超
学位类别	硕士
答辩日期	2016
授予单位	中国科学院研究生院
授予地点	北京
导师	袁国栋
关键词	硅氮化镓外延单芯片白光LED 湿法腐蚀多量子阱 MOCVD 纳米线阵列半极性面
学位专业	微电子学与固体电子学
学科主题	半导体物理
公开日期	2016-05-30
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27078]
专题	半导体研究所_中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	王克超. Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016.

入库方式： OAI收割

来源：半导体研究所

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