微悬臂梁生化传感器系统集成与检测
文献类型：学位论文
| 作者 | 廖驹 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2016-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杨晋玲 ; 张金英 |
| 关键词 | MEMS生化传感器 微悬臂梁 频率检测 微流体控制 传感器系统 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 学科主题 | 半导体器件 ; 微电子学 |
| 公开日期 | 2016-06-03 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27174]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖驹. 微悬臂梁生化传感器系统集成与检测[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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