便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王晶晶 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2016-05-29 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 杨晋玲 |
| 关键词 | 微悬臂梁 生物传感器 闭环谐振器 肝癌早诊 局域修饰 便携式 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 半导体器件 ; 微电子学 |
| 公开日期 | 2016-06-03 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27181]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晶晶. 便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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