基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 邢永豪 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2016-05-21 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | 谐振式压力传感器 大量程 阳极键合 SOI背孔引线 温度自补偿 |
| 学位专业 | 生物电子学 |
| 学科主题 | 传感器 ; Sensor |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-06-02 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10730]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢永豪. 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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